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2018
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分子增壓泵應(yīng)該用實例
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【概要描述】1.中科院近代物理研究所:重離子加速器大流量差分系統(tǒng)(2006年)2006年,采用二臺MB200B分子增壓泵,成功取代當(dāng)時最清潔的中真空機(jī)組:ZJ-600羅茨泵+液氮冷阱,世界上首次攻克重離子加速器大流量差分系統(tǒng)的油蒸汽污染難題,顯著提高加速器的分析精度,節(jié)省設(shè)備費用5萬元,節(jié)省抽氣能耗90%,為我國加速器領(lǐng)域趕超國際先進(jìn)水平作出了重要貢獻(xiàn)。?該項成果在2007年STOCKHOLM第17屆國際真空
1.中科院近代物理研究所:重離子加速器大流量差分系統(tǒng)(2006年)
2006年,采用二臺MB200B分子增壓泵,成功取代當(dāng)時最清潔的中真空機(jī)組: ZJ-600羅茨泵+液氮冷阱,世界上首次攻克重離子加速器大流量差分系統(tǒng)的油蒸汽污染難題,顯著提高加速器的分析精度,節(jié)省設(shè)備費用5萬元,節(jié)省抽氣能耗90%,為我國加速器領(lǐng)域趕超國際先進(jìn)水平作出了重要貢獻(xiàn)。
該項成果在2007年STOCKHOLM第17屆國際真空會議上發(fā)表后,獲得了國際加速器專家的高度重視。
本項目獲得2007年國家自然科學(xué)基金資助(項目批號:10675152)。
2.中科院等離子體物理研究所:人造小太陽試驗裝置(2007年)
MB200D分子增壓泵用于人造小太陽試驗裝置。抽氣流量、運行可靠性等主要技術(shù)指標(biāo)明顯超過該研究所在用的進(jìn)口和國產(chǎn)分子泵和羅茨泵。
3.清華科技園:深圳市力合薄膜科技有限公司
采用二臺MB200D分子增壓泵,取代連續(xù)鍍膜生產(chǎn)線進(jìn)片系統(tǒng)的2臺F-250分子泵+1臺ZJ-1200羅茨泵+1臺ZJ-300羅茨泵,取得了消除進(jìn)片階段油蒸汽污染,顯著提高鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量,設(shè)備費用降低5萬元,節(jié)能80%,年節(jié)電8萬度的優(yōu)異成績。
本項成果展示了分子增壓泵在大型連續(xù)鍍膜設(shè)備領(lǐng)域,取代羅茨泵和分子泵的廣闊市場前景。
本項目獲得2008年廣東省產(chǎn)學(xué)研基金資助。
4.大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備(深圳振恒昌實業(yè))
采用4臺MB200D分子增壓泵(4,000L/s)用于取代大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備2臺K-800擴(kuò)散泵(24,000L/s)+1臺ZJ-1200羅茨泵(1,200L/s),取得了節(jié)省抽氣能耗90%,年節(jié)電30萬度/臺,消除膜層泛黃和結(jié)合力差的現(xiàn)象,4個月節(jié)省的電費可收回增加設(shè)備費用的好成績。
二臺K-800擴(kuò)散泵的總抽速已超過目前市場最大的KT-1000擴(kuò)散泵。因此,本項成果已表明:大型擴(kuò)散泵+羅茨泵機(jī)組退出歷史舞臺的日子已經(jīng)指日可待。
本項目獲得了2008年深圳市產(chǎn)學(xué)研基金資助。
5.恒基鍍膜(深圳)有限公司(港資)
采用3臺MB-200D分子增壓泵取代磁控濺射鍍膜設(shè)備的1臺K-500擴(kuò)散泵和1臺ZJ-300羅茨泵,節(jié)省抽氣能耗80%,每臺煉爐節(jié)省電能8萬度/年,1年節(jié)省的電費可收回改造費用。用于新設(shè)備改造,8個月節(jié)省的電費可收回增加的設(shè)備費。
6.浙江英洛華磁業(yè)有限公司
采用3臺MB-200B分子增壓泵取代1臺KT-400擴(kuò)散泵和1臺ZJ-600羅茨泵,節(jié)省抽氣能耗91%,每臺熔煉爐(30kg)節(jié)省電能4.5萬度/年,2年節(jié)省的電費可收回改造費用。用于新添設(shè)備,1年節(jié)省的電費可收回增加的設(shè)備費。
7.磁控濺射、陰極電弧鍍膜設(shè)備(東莞××五金廠,港資)
采用3臺MB-200D分子增壓泵(3,000L/s)取代磁控濺射和陰極電弧鍍膜設(shè)備的2臺F-400分子泵(7,000L/s)和1臺ZJ-300羅茨泵(300L/s),取得了節(jié)省設(shè)備費用4萬元,節(jié)省抽氣能耗60%,年節(jié)電3.5萬度/臺,消除粗抽階段油蒸汽污染,并消除了分子泵易發(fā)生打片損壞的一大缺陷。
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